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    公开号:WO1988004775A1
    申请号:PCT/JP1984/000237
    申请日:1984-05-10
    公开日:1988-06-30
    发明作者:Kiyoshi Furuse
    申请人:Kiyoshi Furuse；
    IPC主号:G01M3-00
    专利说明:
    [0001] 明 細 書
    [0002] 発明の名称
    [0003] 圧力変化検出式漏れ検査装置
    [0004] 技術分野
    [0005] こ の発明は流体を扱う 機器或は容器等のよ う に使用 状態で流体漏れがあってはなら ないか、 も し く は流体 の漏れが一定規格以内であ る こ とが必要な製品 も し く は部品をその生産工程中において順次検査 し、 良否を 判定する 漏れ検査装置に関する。 - 背景技術
    [0006] 例えばエ ン ジンのシ リ ン ダ或は防水型時計の容器 ， ガ ス器具等の各種機器は気体又は液体の漏れが全 く な いか、 も し く は漏れ量が一定規格以内である こ とが要 求されている。 このためこ のよ う な機器も し く は部品 は製造工程において漏れに関する検査を行なっている。
    [0007] こ のよ う な漏れ検査を行な う 漏れ検査装置と して圧 力変化検出式漏れ検査装置が既に実用されている。 こ の漏れ検査装置は大別 して被検査物の中に正又は負の 流体圧を与え、 その圧力の変化が規定範囲内にあ る力 否かを検測 し、 被検査物の良否を判定する方式と、 被 検査物と比較 タ ン ク に正又は負の流体圧を与え、 これ ら 間の差圧の変化を測定 して被検査物の良否を判定す る方式の二通 り の検査方式があ る。
    [0008] こ の何れの方式でも被渙査物に流体圧を与え、 その
    [0009] O PI 流体圧が所定値に達した時点から一定時間経過する間 の圧力の変化又は差圧の変化を監視 し、 圧力又は差 E の変化が規定の範囲内にあ るか否かによ り 良否を判定 する ものである。 このよ う な検査において流体と して 空気を用いて検査を行な う こ とが一殺的であ る o 気 圧を流体圧と して利用 した場合被検査物の温度或は周 囲温度 ， 湿度 ， 被検査物に付着した水分 ， 被検査 が 圧力によってわずかに変形する等の各種要因によ り 測 定した圧力値或は差圧値に誤差が発生する。
    [0010] こ 誤差値が常に一定値であれば良否判定のための 基準値を一定に保てばよいから特に支障は生 じない。 然し乍ら圧力又は差圧検出値に含まれる誤差は上記 し た各種要因によ り発生する ものであるため各要因が変 化する と誤差値が変勣する こ ととなる。 従って検査を 谜続 して行な う に際 し良否判定のための基準値を誤差 値の変 «Iに追従 して しば しば変更 しなければならなレ、。
    [0011] 誤差値の変動に追従 して基準値を自動的に変化させ る方法の一つと して本出 II人は先に （ 8 3 / 0 0ひ 8 5 ) によ り 圧力変化検出式漏れ検査装置を提案 し ている。 .
    [0012] - こ の先に提案した圧力変化検出式漏れ検査装置は良 品と判定された被検查物の検測デー タを所定数記億す る メ モ リ と、 この メ モ リ に記億した検測デ一 タ の平均 値を漬算する演算装量と、 こ の演算装量で得ら れた平 均値を被検査物の検測デ— タ に対する補正値と しこの 補正値に基づいて検測デー タ を補正するデー タ 補正装 置とを設け、 過去複数回の検測デ一 タ の移動平均を補 正値と して利用する こ とによ り 各種要因によって発生 する誤差値の変動の傾向をと ら え、 その誤差値の変動 を 自動的に補正でき る よ う に したものである。
    [0013] この先に提案 した圧力変化検出式漏れ検査装置によ れば各種の要因によ り誤差値が変動 したと しても 、 そ の変動に追従 して補正値が 自動的に修正される。 こ の 結果常に適正な補正値を得る こ とができ漏れ検査装置 を 自動化する こ とができ
    [0014] 技術的課題 - 然るに実際の製造工程において漏れ検査を実施 しょ う と した場合被検査物の温度は被検査物毎にま ち まち な場合が多い。 その理由 と しては漏れ検査の前に高温 洗浄工程があった り 、 或は溶接工程が存在 した場合の よ う に被検査物に熱的な衝撃が与えられた後に漏れ検 査工程に入る と大部分の物は る温度範囲に入るが、 その温度範 aから外れた温度の物も と きどき存在する。
    [0015] 温度が異なる被検査物を検査 した場合には温度によ つて空気圧が変化 し瘟度毎に検測デー タ値が変化する こ と と なる。
    [0016] このよ う に温度が異なる被検査物を先に提案 した圧 力変化検出式漏れ検査装置によって検査 した場合、 補 正値を得るために記憶 した過去の検測デー タ の平均値 から大き く 離れた検測デ一 タが得られたとすると、 そ の被検査物が良品であっても不良と判定して しま ぅ不 都合が生 じる。
    [0017] この発明の 目的は温度が異なる被検査物の良否を誤 ま.り な く 判定する ことができ る圧力変化検出式漏れ検 査装置を提洪 しょ う とする ものであ る。
    [0018] 発明の開示- この発明による圧力変化検出式漏れ検査装置は被検 査物 温度を基準温度と比較し基準温度と被検査物と の温度差を検出する温度測定装置と、 温度差に応 じて 検測デー タ を仕分け しその仕分け した検測デ— 'タを過 去にさかのぼって複数記億する.こ とができる メ モ リ と、. 温度差が検出 された場合その温度差に対応 した検測デ ータ を読出 しその平均値を算出する演算装置と、 この. 漬算装置によって算出 した平均値を補正値と し補正値 によ り現在検査中の検測デ一 タ を補正する補正装置と、 補正済デー タ を基準値と比敦し被検査物の良否を判定 · する判-定装置とにより構成 したものである。
    [0019] この：溝成により温度が異なる被検査物に対する適切 な補正値を用意できる こ と とな り 、 温度が異なる被検 査物の戾否を誤ま りな く 判定する こ とができる。
    [0020] 図面の簡単な説明
    [0021] . 苐 1 図は従来の漏れ検査装置を説明するためのブ口 ッ ク 図、 第 2 図及び第 3 図は第 1 図の漏れ検査装置の 動作を説明する ための タ イ ム チャー ト 、 第 4 図はこの 発明の実施例を説明するためのブロ ッ ク 図、 第 5 図は こ の発明の動作を説明するためのグラ フ、 第 6 図はこ の発明によ る漏れ検査装置の初期動作を説明する ため の グラ フ 、 第 7 図は こ の発明による漏れ検査装置の動 作順序を説明するためのフ ロ ーチヤ 一 トを示す。
    [0022] 発明を実施するための最良の形態
    [0023] 第 1 図は （ P C T ZJ P 83/0 0 0 8 5 ) で提案 した温度補 償機能を有する圧力変化検出式漏れ検査装置の構成を 示すブロ ッ ク 図である。 こ の例では差圧変化を検出す る方式の場合を示す。 図中 1 1は空気圧源又は排気装置 のよ うな正圧又は負圧を発生する流体圧発生装置を示 す。 流体圧発生装置 1 1の出力側には流管 10が接続され るつ 流管 10は調圧弁 1 2及び電磁弁 14を介 して電磁弁 1 4 の出 口 側で分岐管路 18 ， 19に二分される。 尚調圧弁 12 の出 口 と電磁弁 14の入 口 との間には検査圧を設定指示 する圧力計 1 3が接続されている。
    [0024] 分岐管路 18には遮断弁 16が接続され、 遮断弁 16の出 口側に漏れを検査すべき被検査物 20を接続する着脱機 構が設け られる。 こ の着脱機構によ り被検査物 20が順 次袅続されて漏れ検査が可能な構成と なっている。
    [0025] 一方、 分岐管路 19には遮断弁 17を接読 し、 遮断弁 17 の出 口側に比較タ ン ク 21が接読 されている。 遮 弁 16
    [0026] OMPI 及び 17の出 口側において分岐管路 18及び 19の間に差圧 検出器 22が接続されている。
    [0027] 差圧検出器 22の出力端子は自 動零補正式増幅器 31の 入力端子に接読され、 増幅器 31の出力端子には A— D変 換器 41の入力端子が接続される。 これら差圧検出器 22 と增輻器 31と A—: D変換器41によ _り圧力検測装置 40が構 成される。 この ー D変換器 41の ffi力端子はデー タ補正 部 47を介して出力表示器 48及び比較部 49の入力端子に 接読される。
    [0028] 圧力換測動作
    [0029] 被検査物 20を分岐管路 18の端部に取り付け、 分岐管 路 19には漏れのない比較タ ン ク 21を取り付けて電磁弁 14を閉状態と -し、 調圧弁 12を開いて E力計 13によって 流体圧発生案置 11から与えられる流体圧が所定の値と なるょ に調整す—る。 次に遮^弁 16及び 17を開状態と し、 電磁弁 14を開 態に して設定された一定圧の流体 ( 空気 ） を ^分岐管路 18 ， 19を通 じてそれぞれ被検査物 20及び比較タ ン ク 21に供給する。 こ の状態を第 2 図 A に示すよ う に加圧又は排気区間と し、 その時間を で 表わす。
    [0030] 遮新弁 16及び 17を開に して力 ら 、 一定時間 Ίが经過 して被検査 #7 20及び比較タ ン ク 21内の圧力が安定 した 後に遮断弁 16及び 17を閉状態にする。 更に所定の時 m Tz (この時 Γ曰 Τ2を平衡時間-と称する ） 後に差 £検出器
    [0031] ΟΜΡΙ 麵 22に接続された 自動零補正式増幅器 31にシ 一 ケ ン ス制 御器 54か ら零補正信号 34が与え られ、 増幅器 3 1の出力 を予め零の状態に設定する と共に、 こ の零設定時点か ら一定時間 T 3後に増幅器 31の出力信号の読取 りが行わ れる。 零設定時点から読取り を行う までの時間 T3を検 測時間と称する。 増幅器 31を零点設定 した と き、 増幅 器 31の感度は高感度の状態に切替え られる。 よって増 幅器 31の出力を読取る状態では差圧検出器 22の 出信 号を大き く 拡大 して読取る よ う に している。
    [0032] 遮断弁 1 6 ， 17を開に制御 し圧力を与える期間 Ίと、 遮断弁 16 ， 17を閉 じて圧力を安定させる期間 Τ2と 、 増 幅器 31を零設定 してから読取り を行う までの検測時間 Τ 3を通して一検測サイ クルと称する。 この期間 Ί，Τ2， Τ 3の切眷は シ 一ケ ン ス制御器 54によって実行される。 圧力換測デー タ の処理に関する説明
    [0033] A-D変換器 4 1の出 力は メ モ リ 42に供給される。 メ モ リ 42は誤差上限設定器 42 a と 、 A— D変換器 41の出力値 がこ の設定器 42 a に設定された誤差上限値 ΔΡ Μ よ り 小 さい と き及び良否判定比較部 49において良と判定 した と きその圧力筷測デー タ を通過 させ Α— D変襖器 41の出 力デー タ が誤差上限値 ΔΡ μ よ り 大きい と き 、 及び良否 判定比較部 4 9において不良と判定 したと き デー タ の通 過を阻止するゲー 卜 42b と、 ゲー ト 42b を通過 した圧 力検測デー タ だけを記 Ί意するデー タ メ モ リ 42 c とに よ
    [0034] O PI つて構成される。 よってデ一 タ メ モ リ 42 c には設定器 42 a に設定 した誤差上限値 ΔΡΜ よ り小さ く 、 且つ良否 判定比較部 49において良と判定 したときだけ誤差デー タ が記億される。
    [0035] デー タ メ モ リ 42c に記億した圧力検測デー タはサ ン プル数設定器 43に設定した個数のデ— タ分だけを読出 して平均値演算部 44に与えられる。
    [0036] 平均値漬算部 44ではデータ メ モ リ 42 c から与えられ た過去の王カ筷測デー タの平均値を算出 し、 こ の平均 値を切換ス ィ ツ チ 52を通 じて補正量変換部 45に供給す る。 こ の補正量変換部 45は例えば検測時間 T 3と平均値 演算部 44から与えられる平均誤差値 ΔΡとによって補正 量 δ = fX APを演算する 0 こ-こで T は経過時間を示 し、 T = 0 から T = T 3まで変化する ものとする。 こ の演算 によ り補正量変換部 45から時間 Τの経過に伴って補正 量 は 3= 0から δ = ΔΡまで漸次増加するディ ジ タ ル符 号と して得られる。 この補正値 《5 をデー タ 補正部 47に 与え、 D— Α変換器 41力 ら 出力される検測デー タ ΔΡί を 補正する。 ， 補正量変換部 45の入力側に平均値漬算部 44の他に初 回補正量設定器 53を設け、 運転開始の 1 回目 の検測時 だけの初回補正量設定器 53に設定 した補正値によ り検 測デー タを補正 し、 2 回 目 以後は検測デ一 タ の平均値 を補正値と して利用する ものである。 平均 直はサ ンプ
    [0037] OMPI _ ル数設定器 43に設定 したサ ン プル数の平均値とする。 つま り サ ン プル数を Nに設定 した場合は、 デー タ メ モ リ 42 c に記憶 したデー タ の中から過去 N個までさかの ぼって読出 し、 その N個前までのサ ン プル数の平均暄 を求める ものであ る。 次の検測サイ ク ルでは先の N個 前の最も古い検測デ一 タを除去する代り に前回の検測 デー タを加えて平均値を算出する。 これは一般に移動 平均と呼ばれてい る。 デー タ メ モ リ 42c に記憶される 圧力検測デ一 タ の数が N個に達する までの間はその記 憶されたデー タ の平均値を算出する。 第 3 図を用いて 補正動作について説明する。 第 3 図 Aに示す ， D2 ， D3…… Dn は各検測サイ ク ル の圧力検測デー タ である。 こ'の圧力検測デー タ 〜： DNの中で誤差上限値 ΔΡμ を越 える例えば Diはゲー 卜 手段 42b によ り その通過を阻止 されデー タ メ モ リ 42 c に記憶 しない。 第 3 図 B に示す 〜δηは各圧力検測デ一 タ！ i〜！) nを補正する 補正値を 示す。
    [0038] こ こで初回の補正値 は初回補正量設定器 53から与 えられ、 この補正値 ^によって圧力検測デー タ を補 正する こ とによ り 、 第 3 図 C に示す補正済デー タ 厶1 を得る。 こ の補正済デー タ が良否判定比較部 49に与 えられ、 良否判定比較部 49において良否判定限界設定 器 50から与えられる限界値 ΔΡ3 と比較する。 補正済デ — タ Δ Ρ が限界範囲内であれば良信号 5 1が出力 される。
    [0039] 0¾ίΡΙ 補正済デ一 タ Δ ί^は良否判定比較部 49の他に表示器 48 にも与えられ、 補正済のデータ値 （ 差圧に対応した値） ¾r表 る 。
    [0040] 2 回 目 の圧力検測サイ ク ルにおいては、 切替スィ ッ チ 52が平均値演算部 44側に切替られる。 デー タ メ モ リ 42 c には 1 回目 の圧力検測デ一 タ だけが記億されて いる力 ら この圧力検測デー タ が 2 回目 の検測デ一 タ D2の補正値 δ2となる。 3 回 目の検測においては誤差記 億器 42c に 1 回 目 の検測デ―タ と 2 回 目 の検測デ一 タ D2が記憶されるから平均値演算部 44は圧力検測デ― タ： と D2の平均値 を算出 し、 この平均値 δ 3を補正量 変換部 45に供給 し、 3 回 目 の検測データ D3を補正する。 補正済デー タ ΔΡ 3が良否判定限界値 APs よ り小さけれ ば良否判定比較部 49から 良信号 51が出力される。
    [0041] 同様に して Eカ検測デー タ D4は検測デ一 タ 1) ， D2 ， D3の平均値 ^を使用 して補正される。 この補正の結杲、 補正済デ— タ ΔΡ4が得られるが ΔΡ4 が例えば良否判定 限界値 APs を越えた とすれば良否判定比較部 49から不 良信号 5 1 ' が出力される。 この場合.は検測デー タ D4は 記 I意器 42 c に取込まない。 従って次の検測デー タ D5に 对する平均値は ^を再度使甩する。
    [0042] また或る渰測サィ ク ルにおける検測デ一 タ D iが補正 量限界設定器 42a に設定された補正量限界値 · ΔΡμを越 えたと きは被検査物以外の異常な漏れがあ る と判定 し
    [0043] O PI WIFO 1 てこれを記憶器 42 c に取込まないも のとする。
    [0044] 上記 したよ う に先に提案 した圧力変化検出式漏れ検 査装置によれば誤差値の変化を検査中に周囲温度の変 化等によ り誤差が僅かずつ変化 しても 、 その誤差を平 均化 して補正値と して利用する ものであるため、 常に 適正な補正を行な う こ とができ る。 従って連続 して且 つ 自動的に高い精度で漏れ検査を行 う こ とができ る。
    [0045] 然 し乍ら メ モ リ 42では良品と判定 した場合の圧力検 測デー タ だけを取込む構造と している。 このため例え ば良品であ り な力 Sら温度が通常のものよ り大き く かけ 雜れている こ と力ゝら検測値が他のものよ り大き く 異な るために不良と判定される ものが生 じる不都合がある。
    [0046] 第 4 図に この発明の一実施例を示す。 第 .4 図におい て第 1 図と対応する部分には同一符号を付 して示 して いる。
    [0047] こ の発明においては差圧検出器 22によ り被検査物 20 と比較 タ ン ク 21との間の差圧の変化を検測するのと 同 時に、 被検査物 20と比較タ ン ク 21に接触させた温度測 定装置 35A ， 3 5B によつて被俟査物 20と比較タ ン ク 21 の温度を測定 し、 その温度測定信号を差動増幅器 55に 与え、 差動増 ¾器 55から被検査物 20と比較タ ン ク 21と の間の温度差を検出 し、 こ の温度差の値を A— D変換器 56により A - -D変換 し、 その A— D変換 したディ ジ タ ル信 号 57を シ ー ケ ン ス制 m器 54に与え、 シ ー ケ ン ス制御器'
    [0048] O PI 54においてメ モ リ 58に設けた複数の記憶領域 A , Β ，
    [0049] C Nを温度差によ り選択 し、 その選択された記憶 領域に圧力検測デ— タ を記憶するよ う に構成 したもの でめ る。 '
    [0050] シー ケ ン ス制御器 54は この例ではマイ ク ロ コ ン ビュ — タ を利用 した場合を示す。 マ イ ク 口 コ ン ピュー タ は 既によ く 知られてい る よ う に中央処理装置 59と、 読出 専用メ モ リ （ 以下 ROMと称す ） 6 1と、 書込読出可能な メ モ リ （ 以下 RAMと称す ） 58 , 入力ポー 卜 62と、 出力 ポー ト 63 -とにより構成される。
    [0051] 圧力検測手段 40によつて検測 した圧力検測デー タ と、 温度差デー タ 57は入力ポー ト 62に-与えられ、 例えば 10 - ミ リ 秒程度の時間-間隔で中央処理装置 59に交互に取込 まれる。
    [0052] 入力ポー 卜 62には設定装置 64カゝら各種の設定値を入 力する。 設定装置 64は上限値設定器 42a と、 補正値を 得るために RAM 58から読出すデータ め数を設定するサ ン プル数設定器 43と良否判定のための基準値を設定す る基準値設定器 50とを設けこれら各設定器 42a , 43 , 50から各設定値を入力する。 尚実際はこれら設定器
    [0053] 42 a ， 43 ， 50はテ ン キ イ 一 ス ィ ツ チによって構成され、 各設定 1ΐを入力する ときは例えば各設定を表わすコ 一 ドを入力 し、 その コ ー ドの入力によ り例えば上限値設 定ル ー チ ンを ROM 61から呼び出 し、 その状態で上限設
    [0054] O PI 定値を入力 して RAM 58の一部に上限値を記憶させる。
    [0055] その他のサ ン プル数設定及び基準値設定も 同様に して
    [0056] RAM 58の一部に記憶させる。
    [0057] シ ー ケ ン ス制御器 54の出力ポー ト 63には遮断弁 1 6及 び 17の制御信号と増幅器 3 1のゼロ リ セ ッ 卜 信号及び感 度切換制御信号及び良否判定信号 5 1 ， 5 が出力 され る。 制御信号は遮断弁 1 6と 17に与えられ遮新弁 1 6と 1 7 を所定の順序に従って開閉制御を行な う 。 こ の制御順 序は ROM 6 1にプロ グラ ム と して収納され、 そのプロ グ ラ ム に従って制御が実行される。
    [0058] こ こで圧力検測値の RAM 58への取込み方法について 説明する。 温度測定装置 35 a ， 35b の瘟度差を差動增 幅器 55によ り取り 出す。 差動増幅器 5 5から取出 された 温度差信号を A— D変換器 56に供給 し、 ディ ジ タ ル信号
    [0059] 57に変換する。 こ のと き A— D変換の分解能を例えば 1 匸 に設定する と温度差信号は 1 'Cの間隔でディ ジ タ ル 信号に変換される。 例えば温度差 0 'C〜 0.5 °Cのとき 温度差を 0 と し、 こ のと き RAM 58の記憶領域 Aを選 択させる。 温度差力 0.5 〜 1.5 'C のと き温度差を 1 'C と規定 し、 この と き記 i意領域 Bを選択する。 温度差が
    [0060] 1.6 'C 〜 2.5 'Cのと き温度差を 2 °C と規定 し、 こ のと き 記憶 ΐ頁域 Cを選択させる。 温度差が （ Ν— 0.5 ) 'C
    [0061] 〜 （ Ν + 0.5 ) 'Cのと き温度差を N 。C と規定 し記憶領域
    [0062] Nを選択する。 こ のよ う にディ ジ タ ル信号 57によって
    [0063] _OMPI 、 一 0 、 RAM 58の記 IS領域を選択訶御する。
    [0064] 各記憶領域 A Nにはそれぞれに例えば 20 30点の 記憶ァ ド レ スを有 し、 こ の記億了 ド レ スに差圧検出器 22で検出 した 力検測 ί直を順次圧力検測デー タ と して 取込む。
    [0065] つま り 圧力検測デ一 タ は差正検出器 22によって検出 され増幅器 31を通 じて Α— D変換器 41に供袷 し、 Eカ検 測デー タ をディ ジ タ ル 置号に変換する。 こ のディ ジ タ ル信号は入力 ボ ー 卜 62を介 して中央処理装量 59に取込 まれる。 各記億領域に取込まれる各圧力検測デー タ は 各記 ·意領域'の先頭番地に謇込まれる。 先頭番地に新 し い £カ検測誤差直を謇込むと既に書込まれてい る圧力 検測デ一 タ は麟次ァ ド レ スを 1 つずっ シ フ 卜される。 記億領域が満杯の ^:態になってい る場合は最も古い压 カ ^測値力 S記億領域か ら排出 される。
    [0066] こ の よ う に被'侯 ¾物 20の温度に応 じて仕分け-して RAM 20に驭込まれた 力渙測デー タ は次の被渙 S物 20 を検査する 際にその被検¾物 と基阜タ ン ク 21の温度差 に対応 した記；意領域のデー タ を読出 し、 そのデー タ の 平均 ;直を中央処理裘盧59によ 算出 し、 算出 された平 均直を補正姮と して現在俟測中の EEカ ^測直を補正す る 。 補正 した補正済デー タ を良否判定のための ¾準 m と比較 し、 ¾準4 よ り 小さ い値であれば良信号 5 1が、 ま た g準；直よ り 大き ければ不良信号 5 1 ' 力 s a 力 され、 ο Γΐ その状態を表示器 64に表示する 。
    [0067] こ こ で不良信号 5 1 ' が出力 さ れた場合はその と き A 一 D変換器 41か ら ^御器 54に供袷さ れてい る 圧力検測 デー タ は AiVI 58に書込 ま ないよ う に してい る。 ま た上 限設定値 ΔΡΜ を越えた デー タ も 書込を禁止する 。 . サ ン プ ル数設定器 43に よ り RAM 58の各記 慮領域 A〜 N に取込んだデー タ の 中か ら 何個のデー タ を取出 して 平均 1直を 得る かを設定する こ とができ る よ う に してい な O
    [0068] 上述 した構成に よれば各検測每に被渙査物 20の 温度 ( 比較 タ ン ク 2 1の温度 と の差 ） を検出 し、 温度毎に圧 力渙測デー タ を検測誤差値 と して ·ΒΑΜ 58に取込み、 一 つの Τ炱測デ— タ を取込む毎に 古い検測デー タ を押 し出 すよ う に し、 こ のよ う に して蓄え られた渙測デ ー タ を 平均 して補正値を得る よ う に構成 したか ら 、 第 5 図に 示すよ う に 温 S補正曲 65が上又 ·は下にわずかずつ変 化 して も 、 R Ai 58に取込 まれる検測デ一 タ も その変化 に追従 して変化する。 よって温度補正曲緑 65が変勳 し て も 自 Ϊ0的 に補正値が 正さ れ常に正 しい 度補 1買を 行な う こ と がで き る。
    [0069] ψ.測 始時に する 説 明
    [0070] と こ ろ で設 ft してか ら ¾ mを 始す る時点では RA i
    [0071] 58に浼 i則誤差 ¾が全 く 存在 しない。 こ の よ う な状 カ ら を ¾始丁 る ：こは次の よ う に行な う 。
    [0072] Οϊ.ίΡΙ - RAM 58に圧力検測データが全 く存在 しない場合には 現在検測中の埃測デー タ を補正するための補正値はゼ 口である。 このため璜測開始の立上り時点では被検 _¾ 物 20は予め良品を用意 し、. 良品だけを検測 し、 良品を 検測 した場合の検測データを BAM 58に取込む。 尚、 # に良品を用意 しな く と も一般に製品の不良発生率は低 い。 -よって通常の製造ラ イ ンを流れる^品をそのま ま 筷測 して も各 ¾品はほぼ良品と して見るこ とができ る。 よって RAM 58に Eカ検測デー タ が各温 S毎に蓄積され ていな く とも 良品と して検測 してよい。 第 1 被換查物 の温度が苐 6 図に示すよ う に Taであったとする。 温度 Taの被検査物によって発生する圧力豫測値を圧力換測 デ一 タ APa と して RAM 58の記 '！意領域に取込む。 第 2被 検查物力 m 1 ¾検查物の温変 Taと同 じであればその圧 _ カ換測置は先の記 ί意領域に取込む。 然 し乍ら第 2被検 査 の温袤 Tbが Ta ^ Tbであつた場合にはその圧力渙測 m ΔΪ¾ を検測デー タ と して温 K'Tbに对応する記億領域 に取込む O
    [0073] このよ う に温変が異な る圧力検測デー タ APa ， APb が取込ま Πる と、 その後は次式によ り 温度 Ta , Tb以外 の温度に対する资似樓測デー タを中央処理裘 *59によ り推定 ¾算 して算出する。
    [0074] ΔΡΪ = Α 十 Tt … · (1)
    [0075] A = AP 一 BTa (2
    [0076] OV i A Pb '一 A P a
    [0077] B = (3)
    [0078] — Tb — T a こ の演算式に よ り 上記実測温度 Ta ， Tb以外の温度の 第 1 回 目 の検測デー タ と して算 出 し、 その各揆測デ一 タ を各温度の記 ' 領域に取込む。 こ の推定演算は各温 度に.対 して第 1 回 目 だけに適用 し、 各温度の記 '1意領域 A 〜 Nの各先 頭番地に全て '凝似 f炱測デー タ と して取込 む。 その後は こ の取込 まれた 1以検測デー タ を補正デ ー タ と して用い、 その後に実測 した圧力検測デー タ を 順次検測デー タ と して各記 慮領域に加入 して記 '慮する。 各記'慮領 域 A 〜 N に 2 個以上のデ ー タ が記 Ί意 さ れる と その後の筷測に 関 しては各記憶領域 A 〜 Ν のデー タ の 平均値を補正デー タ と して用い る。
    [0079] 以上の動作を第 7 図の フ ロ 一 チ ヤ 一 卜 に よって説明 する o ス テ ッ プ①：こおいて各設定値を入力する 。 ス テ ッ プ ②では必要な設定値が入力 さ れてい るか否かを判定 し、 必要な設定直が入力 されていない と き は ス テ ッ プ①に 戻り 入力.を促す。 ス テ ッ プ③では ^検査柳 20が所定の 看脱 : 構に袅着 さ れてい る か否かを判定す る o 被瘐 ¾ 物 20が装看さ； Rてい る場合は ス テ ッ プ④に る 。 ス テ ッつ-④では RA— ί 5 8に過去の ^測デ 一 タ が有 る か否かを 判定する 。 _ 去の Ϊ食 デ一 タ が無い場合は初期化ル 一 チ ン ⑥に入 り 、 ' 袤が異な る 二つの被豫査 ^を検歪 し
    [0080] 一〇 Ι た時点で上記 した第 1 式 ， 第 2式 ， 第 3 式の演算を行 ない各温度毎の擬似検測デー タ を得る。
    [0081] RAM 58に過去の検測デー タが存在する場合及び初期 化ルーチ ン ⑥において各温度毎に癢似検測デ一 タが得 られる と ステ ップ⑤に入り 正規の検測が開始される。 όま り ステツプ⑤では遮靳弁 1 6 ， 17を一定時間 Τだけ 鬨に制御 し、 被-検査 20と比較タ ン ク 21に流体圧を与 える。 ステップ⑦では時間 Τ2を経過 した時点で増 畐 31をゼロ リ セ ッ 卜 し、 その感度を所定倍の状態に切換 る o - ステップ⑧では増 iil器 31をゼロ リ セッ ト した時点か ら時間 T3が絰過 した時点で Α— D変澳器 41の Α— D変澳値 を圧力検測デー タ と して取込む。 ステツプ-⑨で温度測 定装置 35 a ， 35 bで渙岀 した温度差によ り AM 58の領 -域を選定 し、 その領域から過去の検測デー タ をサ ンプル 設定数分だけ読出す。—ステップ⑩で読出 した換測デ一 タ の平均値を求め補正データ とする。 ス テ ッ プ⑪で補 正デー タ によ り現在換測中のデー タ を補正する。
    [0082] ステップ で補正済デー タが基準値よ り 小か否かを 判定 し、 小のときはステッ プ⑩で良信号 5 1を出力 し、 ステップ⑭で表示^ 64に艮を表示させる 0
    [0083] 補正済デー タ が ¾準 mよ り大きいと きは ステ ツプ © で不良信号 5 1 ' を K力 させ、 ス テ ッ プ㊣で表示器 64に 不良を表示させる。
    [0084] C.、 ίΡΙ Yv::PPOO 以上で 1 検測サ イ ク ルを終了 し、 ス テ ッ プ ®で検査 終了指令の有無を判定 し、 終了指令が無い場合は ス テ ッ ブ③に戻 り 検査を继続する 。
    [0085] 以上説明 した よ う に こ の発明 に よれば各温度毎に圧 力検測誤差値を仕分け して RAM 58に取込み、 各温度毎 に仕分け して取込んだ検測デ— タ を平均 して補正デー タ と して利 用する よ う 構成 したか ら 温度補 i賞曲 ^ 65が ド リ フ ト して も その ド リ フ 卜 に追従 して各温度毎に補 正デー タ が変化する。 よって 自 動的に温度補 Λ曲線を «正す るか ら被検査， 20の温度が変動 して も 人手を全 く 使 う こ と な く 温度補償す る こ と がで き検 2工程を完 全に 自 動化する こ とがで き る 。
    [0086] 尚、 上述では差圧検出形の漏れ検査装置に こ の発明 を適用 した ¾合を説明 したが、 単一の圧力検出器に よ つて被筷査 ^ ;こ与え ら れる正又は負の圧力変化を検 す る方式の慮れ検査装 «に も こ の発明を適用で き る 。 こ の方式の ί'屬'れ筷査装諼に適用する 場合は温度測定装
    [0087] « 35 b は周 囲温度を測定 し、 周 囲温度 と被検査物 20と の間の温度差に よ り KAM 58の記億領域 A 〜 Nを選択す る よ う に構成.すればよい。
    [0088] また 上述では 温度差每に BAM 58の記憶領域を指定 し て記 1意 したが、 その 他の方法 と して圧力横測デー タ に 温度差デー タ を付力 Π し、 こ の温度差デー タ を付加 した 圧力筷測デ一 タ を RA 58に 次記憶 し、 読み 出すと き
    [0089] OMPI
    [0090] 、 WIFO" は温度差デ一タ によ り仕分け して読出すよ う に *成す る こ ともできる。 このよ うな記 i意方法を ¾つた場合は
    [0091] RAM 58を一つの記憶領域と して扱う こ とができ るから 空き領域が発生する こ とがない。 よって RAM 58を無駄 な く利用する こ と力 Sできる r
    [0092] OMPI WIPO
    权利要求:
    Claims 求 の 範 囲
    1. 被検査物：こ与え ら れた正又は負の流体圧の一定時 間内の変化を検 出する 圧力検測装置 と 、
    こ の圧力 ' F矣測装置か ら 得 ら れる 圧力埃測デ ー タ をデ イ ジ タ ル信号に変換する A— D変換器 と 、
    上記被検査 ^の温度 と基準温度 との差を検出する 温 . 定装量と 、
    こ の 温度測定装置で検出 した 温度差に応 じて上記圧 力筷測デー タ を仕分け して記 '慮 し読出すこ とがで き る メ モ リ と 、
    こ の メ モ リ か ら 読出 さ れ る 各温度差と 对 iS付け され た圧力検測デ一 タ の平均値を求める 演算装置と 、
    こ の演算装置で得 ら れた平均 ί直を上記圧カ検測デ一 タ か ら 减算 して補正ず る 補正装置 と 、
    こ の補正装置で得ら れ る 補正済デー タ と 基準 m と を 比較 し良 ， 否を判定する判定装置 と 、
    こ の判定装量か ら 得 ら れ る判定結果を表示する表示 器 と 、
    上記 Ε力 τ矣 m装置 ， 温度測定装 # ， メ モ リ ， 演算装 置 ， 補正装 * ， 判定装置 ， 表示器を所定の .' i頁序で ¾作 さ せる シ 一 ゲ ン ス 剞 i卸器 と 、
    か ら 成る 圧力変化検出式漏れ筷査装置。
    2. 上記 メ モ リ は温度差に対応 した記億領域を有 し、 上記温度 定 ¾ «によ って測定 した温 κ差に応 じた記
    OMPI _ 億領域に E力換測デ一 タを書込み各記億領域から
    差毎に仕分け して読出すよ う に構成 した請求の範囲苐
    1 項記載の 力変化検出式漏れ検査装量。
    3. 上記メ モ リ は上記温度測定装置によって測定 した 温度差デー タ を.圧力 '換測デー タ に付 して記億 し、 温度 差毎に仕分け して読出すこ とができ る よ う に ^成 した 請求の範囲第 1 項記載の圧力変化検出式漏れ検査装 βο
    4. 上記メ モ リ と演算装置と補正装置 ， 判定装 S及び シ ー ケ ン ス铺御器をマ イ ク 口 コ ン ビュー タ によって構 成 レた請求の範囲第 1 項記载の圧力変化検出式禱れ検
    5. 上記メ モ リ に記慮 した圧力瘐測デー タ を設定 した サ ン プル数だけさかのぼって読出 してその平均値を求 めその平垮直を補正値と して利用する請求の範囲第 1 項記載の ] ΐ力変化検出式'最れ？食査装置。
    6. 渙查開始 において互に異なる 温度差の三つの圧 力検測デー タ が得ら れた と き こ の二つの豫測デー タを 利用 して他の温度差におけ る 擬似渙測値を求め る初期 化 i&作を行 う 請求の車 ϊ囲翥 1 項記 ¾の圧力変化検出 式 S L検査妄置。 . —-
    O PI一 、 、 WIPO -
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    同族专利:
    公开号 | 公开日
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    JPH0157728B2|1989-12-07|
    引用文献:
    公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题
    法律状态:
    1988-06-30| AK| Designated states|Kind code of ref document: A1 Designated state(s): US |
    优先权:
    申请号 | 申请日 | 专利标题
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